低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，等離子體內(nèi)部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等，從而達到凈化廢氣的目的。該技術(shù)具有處理效果好、運行費用低廉、無二次污染、運行穩(wěn)定操作管理簡便即開即用等優(yōu)點。